| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)테크윙 |
| 출원번호 |
10-2014-0025058 |
| 출원일 |
20140303 |
| 등록번호 |
10-2058443 |
| 등록일 |
20191217 |
| 내용 |
본 발명은 생산된 반도체소자의 테스트 시에 사용되는 테스트핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 테스트핸들러는 테스트트레이의 순환 경로 상에서 제1 챔버와 제2 챔버 사이에 테스트챔버가 구비되고, 제1 챔버가 소크챔버로 기능하거나 디소크챔버로 기능할 수 있으며, 제2 챔버는 제1 챔버의 기능 전환에 수반하여 함께 기능 전환하면서 디소크챔버로 기능하거나 소크챔버로 기능하게 된다. 그리고 그에 따라 테스트트레이도 서로 다른 2개의 순환 경로 중에서 어느 하나의 경로를 선택하여 이루어질 수 있다.
따라서 테스트 온도 조건이 크게 변동된 경우에도 테스트핸들러의 대기 시간이 대폭적으로 짧아지기 때문에 테스트핸들러의 가동률 및 처리 용량이 향상된다.
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