구분 |
특허 |
등록권자 |
(주)테크윙 |
출원번호 |
10-2014-0007186 |
출원일 |
20140121 |
등록번호 |
10-2043633 |
등록일 |
20191106 |
내용 |
본 발명은 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 핸들러의 픽앤플레이스장치에 고객 트레이 등의 적재요소로부터 이물질을 제거하기 위한 클리너가 결합된다.
위와 같은 구성에 의해 정지 상태에 있는 빈 적재요소의 청소가 가능하면서도 그 설치가 간단하고, 클리너 설치 공간을 최소화시킬 수 있는 이점이 있다.
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