등록특허현황
본 발명은 반도체소자의 테스트를 지원하는 테스트핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 테스트챔버의 테스트창에 건조 공기를 공급하는 건조 공기 공급 장치를 구성함으로써 저온 테스트 시에 발생할 수 있는 결로 현상을 방지할 수 있는 기술이 개시된다.