| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 비에이치에스티 |
| 출원번호 |
10-2022-0018255 |
| 출원일 |
20220211 |
| 등록번호 |
10-2578525 |
| 등록일 |
20230911 |
| 내용 |
본 발명은 스테이지모듈이 제품패널을 흡착 파지할 때, 제품패널의 사이즈에 대응하여 스테이지모듈에서 흡착력이 작용하는 영역을 가변시키는 한편, 스테이지모듈에서 흡착력이 손실되는 것을 방지하기 위한 진공 스테이지 메커니즘에 관한 것이다.
이를 위해, 진공 스테이지 메커니즘은 제품패널이 흡착 고정되되 다수의 평행유로와 다수의 흡착홀과 다수의 제1편심홀과 다수의 제2편심홀이 포함되는 흡착패널과, 상호 이격되어 제2방향을 따라 흡착패널에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 파지브라켓과, 한 쌍의 파지브라켓을 상호 접근시키거나 상호 멀어지도록 흡착패널에서 한 쌍의 파지브라켓을 슬라이드 이동시키는 파지구동모듈 및 제1편심홀과 제2편심홀에 흡착력이 전달되도록 흡착패널의 하부에 상호 이격 배치되고 한 쌍의 파지브라켓에 각각 결합되며 한 쌍의 파지브라켓의 슬라이드 이동에 따라 연통되는 제1편심홀과 제2편심홀의 개수를 각각 조절하는 진공전달모듈을 포함한다.
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