| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 그래핀랩 |
| 출원번호 |
10-2022-0046796 |
| 출원일 |
20220415 |
| 등록번호 |
10-2442676 |
| 등록일 |
20220906 |
| 내용 |
본 발명은 오존가스를 이용한 펠리클 소재용 그래핀박막의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 상부면에 그래핀을 형성하는 그래핀형성단계, 상기 그래핀형성단계를 통해 형성된 그래핀층을 오존에 노출하는 오존처리단계 및 상기 오존처리단계를 통해 오존처리된 그래핀층을 열처리하여 식각하는 식각단계로 이루어진다.
상기의 과정으로 이루어지는 그래핀박막의 제조방법은 그래핀박막의 두께 제어가 용이하며, 우수한 극자외선 투과율과 균일도를 나타내고, 식각과정에서 그래핀층의 손상이 억제되어 기계적 강도가 유지되며, 표면 기능화를 통해 캡핑층이 균일하게 증착될 수 있는 그래핀박막을 제공한다.
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