| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
씨에스이(주) |
| 출원번호 |
10-2020-0096671 |
| 출원일 |
20200803 |
| 등록번호 |
10-2209540 |
| 등록일 |
20210125 |
| 내용 |
반도체 공정에 사용되는 반응 화학물질의 공급을 제어하는 밸브의 세정을 위해 밸브에 연결되고 유체가 통과하는 밸브 연결관 내부에 설치되어 유체흐름을 와류로 변형시키는 와류 발생부재 및, 밸브 연결관에 연결되어 밸브 내부로 초음파를 발생시키는 초음파 발생모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 세정장치가 개시된다.
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